هناك ثلاث عمليات رئيسية لتصنيع TFT-LCD:
1) معالجة المصفوفة
2) عملية التنظيم
3) عملية معيارية
أخيرًا ، نرى المنتج.
1. معالجة المصفوفة
1) قطعة من الزجاج بسطح أملس وخالية من الشوائب هي المادة الخام الرئيسية لتصنيع ركائز زجاجية TFT. قبل صنعه ، يجب غسل الزجاج بمحلول تنظيف خاص ، ثم تجفيفه وتجفيفه.
2) من أجل ترسيب فيلم معدني على ركائز زجاجية ، يجب وضع المواد المعدنية في حجرة مفرغة أولاً. بعد أن يتم إنتاج البلازما بواسطة غازات خاصة على المعدن ، ستصطدم الذرات الموجودة على المعدن بالزجاج ، ثم يتم تشكيل طبقة من الفيلم المعدني.
3) بعد طلاء الفيلم المعدني ، نحتاج أيضًا إلى طلاء طبقة من الطبقة غير الموصلة والطبقة شبه الموصلة. في حجرة التفريغ ، نقوم أولاً بتسخين اللوح الزجاجي ، ثم نقوم برش الغاز الخاص بواسطة البخاخ الكهربائي عالي الجهد لجعل الإلكترونات والغازات تنتج البلازما. بعد التفاعل الكيميائي ، يتم تشكيل الطبقة غير الموصلة وطبقة أشباه الموصلات على الزجاج.
4) بعد تشكيل الفيلم ، نحتاج إلى عمل أنماط ترانزستور على الزجاج. بادئ ذي بدء ، نحتاج إلى رش سائل شديد الحساسية ومقاوم للضوء في الغرفة الصفراء ، ثم تغطيته بقناع خفيف لإشعاع الضوء الأزرق والأرجواني للتعرض ، وأخيراً إرساله إلى منطقة التطوير لرش المطور ، وذلك لإزالة مقاومة الضوء بعد الإضاءة ، ولكن أيضًا لجعل الطبقة المقاومة للضوء صورة نمطية.
5) بعد ضبط مقاوم الضوء ، يمكننا استخدام النقش للنقش الرطب ، أو تعريض الفيلم غير المجدي ، أو الحفر الجاف مع التفاعل الكيميائي للبلازما. بعد الحفر ، يمكننا إزالة مقاوم الضوء المتبقي بواسطة الانزلاق ، وأخيراً إنتاج نمط الدائرة الذي يحتاجه الترانزستور.
6) لتكوين ترانزستورات الأغشية الرقيقة المتاحة ، من الضروري تكرار عمليات التنظيف ، والطلاء ، ومقاومة الضوء ، والتعرض ، والتطوير ، والحفر وإزالة مقاومة الضوء. بشكل عام ، لتصنيع TFT-LCD ، من الضروري التكرار من 5 إلى 7 مرات.
