تدفق العملية الرئيسي للوحة OLED المرنة
1. المعالجة المسبقة للركيزة ITO
يتم استخدام ITO كأنود ، وعادة ما يتم تشكيل الفيلم في عملية صنع لوحة الكترونية معززة TFT. سيؤثر تسطيح ونظافة سطح الركيزة على نمو مواد الأغشية العضوية الرقيقة - وأداء OLED ، لذلك يجب تنظيف سطح ITO بدقة.
2. تشكيل فيلم EL
بعد المعالجة المسبقة لركيزة ITO ، تشتمل مواد OLED المعدة على جزيئات عضوية صغيرة وبوليمرات جزيئية عالية ومعادن وسبائك. يتم تحضير معظم أغشية الجزيئات الصغيرة العضوية عن طريق التبخر الحراري الفراغي. يمكن تحضير الجزيئات العضوية الصغيرة القابلة للذوبان وأغشية البوليمر بطرق أبسط وأسرع ومنخفضة التكلفة -. تم تطوير طلاء الدوران ، والطباعة النافثة للحبر ، والليزر على التوالي. التكنولوجيا مثل نقل الطباعة. عادة ما يتم تحضير الأفلام المعدنية والسبائك بواسطة التبخير الحراري الفراغي. يركز ما يلي على عمليتي التبخر الحراري الفراغي والطباعة النافثة للحبر.
(1) التبخر الحراري الفراغي: يشير إلى تبخر المادة المتبخرة إلى ذرات أو جزيئات عن طريق تسخين التيار الكهربائي وقصف الحزمة الإلكترونية وتسخين الليزر في الفراغ. يتم تكثيف سطح الصفيحة لتشكيل طبقة رقيقة. يتم التحكم في الموقع المحدد لفيلم ترسيب البخار بواسطة قناع معدني دقيق (FMM ، - قناع معدني عالي الدقة).
عملية التبخر لها متطلبات صارمة على درجة الفراغ ، سماكة الفيلم ، محاذاة FMM ، والتحكم في الشوائب أثناء نقل المواد. في الوقت الحالي ، تتميز عملية ترسيب البخار بأعلى مستوى من المعدات والنضج التكنولوجي بين مختلف طرق تشكيل فيلم EL ، ويمكن استخدامها لإعداد طبقات الحقن وطبقات النقل - والطبقات الباعثة للضوء ومواد الكاثود. تتمثل عيوبه في سرعة تكوين الفيلم البطيئة ، والاستخدام المنخفض للمواد العضوية ، والتوحيد السيئ لتشكيل غشاء كبير الحجم -. لذلك ، تُستخدم عملية التبخر بشكل أساسي لإعداد أجهزة OLED صغيرة ومتوسطة الحجم -.
(2) الطباعة النافثة للحبر: تشير إلى - الملء المسبق لمختلف مواد الطبقة الوظيفية العضوية في خراطيش الحبر ، واستخدام الكمبيوتر لتحويل المعلومات الرسومية إلى إشارات رقمية ، والتحكم في حركة الفوهات وبثق قطرات الحبر. قم بالرش إلى الموضع المقابل لتشكيل النموذج المطلوب ، وذلك لتحقيق ترسيب دقيق وكمي وموضع ، وإكمال المنتج المطبوع النهائي. يمكن استخدام الطباعة النافثة للحبر لتجهيز طبقات نقل الثقوب ، والطبقات الباعثة للضوء - ومواد الكاثود. لا تزال الطبقات الأخرى بحاجة إلى الإكمال بمساعدة عملية التبخر. تقنية الطباعة الكاملة بنفث الحبر {3}} قيد التطوير. بالمقارنة مع التبخر ، فإن عملية الطباعة بنفث الحبر بسيطة ، وتحسن بشكل كبير معدل استخدام المواد ، وهي مناسبة لإعداد أجهزة OLED كبيرة الحجم -. في المستقبل ، مع النضج والتطبيق الكبير - لتقنية الطباعة ، يمكن تقليل تكلفة تصنيع OLED بشكل كبير.
من بين التقنيات ذات الصلة بالطباعة النافثة للحبر ، يعد تطوير حبر البوليمر الجزيئي العالي هو الأكثر أهمية ، لأن توحيد القطرات المقذوفة يعتمد بشكل أساسي على الخصائص الفيزيائية للحبر. في الوقت الحالي ، نظرًا لعدم الاستقرار غير الكافي في عملية صياغة الحبر والطباعة ، فمن السهل التسبب في ضعف أداء EL وتوحيد وموثوقية. هذه مشكلة فنية تحتاج الطباعة النافثة للحبر إلى حلها بشكل عاجل.
3. عملية التغليف
من أجل منع دخول الماء والأكسجين والغبار إلى داخل جهاز عرض OLED والتسبب في انخفاض عمره الافتراضي وأدائه ، من الضروري تطوير عملية تغليف OLED. في الوقت الحالي ، تعد تقنيات التعبئة والتغليف الشائعة عبارة عن عبوات بأغلفة زجاجية أو معدنية و - عبوات رقيقة.
(1) تغليف الغطاء التقليدي: في بيئة مليئة بالغاز الخامل ، يتم لصق زجاج OLED بالغطاء الزجاجي أو الغطاء المعدني بغراء المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية ، وبالتالي يتم عزل الطبقة العضوية والغطاء بين الغطاء والركيزة. القطب محكم الغلق لعزل الماء والأكسجين والغبار من الخارج. عيب تغليف الغلاف هو أن الغطاء المعدني سهل الالتواء والتشوه ، بينما الغطاء الزجاجي هش وغير مناسب لتطوير تقنية OLED المرنة.
(2) تغليف الأغشية الرقيقة: إن استبدال عبوة لوحة الغلاف عن طريق ترسيب طبقة واقية رقيقة بسماكة معينة هي عملية تغليف OLED السائدة الحالية. تشتمل العبوات - الرقيقة على عبوات - رقيقة غير عضوية ، وعبوات عضوية - رقيقة ، وتغليف مركب بطبقات عضوية / غير عضوية متداخلة. عادةً ما تعتمد عبوات الأغشية الرقيقة على PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالأيونات ، أي استخدام الموجات الدقيقة أو تردد الراديو لتأين الغاز الذي يحتوي على الذرات المكونة للفيلم لتكوين البلازما محليًا. والبلازما نشطة كيميائيًا وسهلة التفاعل. على الركيزة يتم ترسيب الفيلم الرقيق المطلوب) ، ولكن مع ظهور OLEDs المرنة ومتطلبات الخفة والنحافة ، يلزم أيضًا أن تكون سماكة طبقة التغليف أرق وأرق. تحقيق كثافة جيدة تحت سُمك صغير ، وذلك للحصول على خصائص ممتازة لحاجز الماء والأكسجين ، الأمر الذي يتطلب تقنية معالجة عالية. في الوقت الحالي ، تراجع الصناعة استخدام ALD (ترسيب الطبقة الذرية ، وهي طريقة يمكن أن ترسب المواد على سطح طبقة الركيزة بطبقة على شكل فيلم أحادي الذرة ، على غرار الترسيب الكيميائي العادي) لتحقيق التأثيرات المذكورة أعلاه .
